吉時利2450源表在薄膜材料電阻率測試中的應用

最近，我遇到了一個關于測試薄膜材料電阻率的項目。客戶需要一個探針臺，并且需要配備一臺儀器來進行電阻率測試。為了滿足客戶的要求，我決定采用四探針法加上源表的方法來進行薄膜材料的電阻率測試。

　　四探針法是一種常用的測試電阻率的方法，它通過使用四個探針來測量薄膜材料的電阻。這種方法可以減少接觸電阻的影響，提高測試的準確性。而源表則是一種用于電阻測試的儀器，它可以提供穩定的電流源和精確的電壓測量，從而實現精準的電阻率測試。

　　測試方案搭配：

　　方案一：

　　探針臺+源表

探針臺示意圖

源表示意圖

　　搭配示例：

　　廣州四探針RTS-2型臺子：

　　基本指標：

　　間距：1±0.01mm；

　　針間絕緣電阻:≥1000MΩ；

　　機械游移率:≤0.3％；

　　探針：碳化鎢或高速鋼材質，探針直徑Ф0.5mm；

　　探針壓力：5～16牛頓(總力)；

　　吉時利2450源表：

　　原理簡述：

　　什么是電阻率？

　　一種材料的電阻率表征的是阻礙電流流過的能力的大小。其單位為Ω·m/Ω·cm。如果電流很容易在某種材料中流過，那么該材料有較低的電阻率；如果電流很難流過某種材料，那么該材料有較高的電阻率，電阻率為材料的本質物理屬性，與大小和形狀無關。

　　常見材料電阻率：

　　薄膜材料電阻率測試----方塊電阻：

　　ρ：單位Ω·m

　　V:測得的電壓

　　I：測得的電流

　　W:寬

　　H:高

　　L:長

　　補充：

　　?通常需要測各種材料的薄膜或薄片電阻，如果材料可以做成長方形，那么就可以像測量條狀樣品一樣測量電阻率；

　　?有一種特殊情況，當W寬度和L長度相等時，此時材料為正方形，電阻值被稱為方塊電阻Rs，即表面電阻率。

　　薄膜材料電阻率測試----四探針法：

　　?對于任意形狀和任意大小的薄膜材料，比較方便的方法是四探針法

　　?要求：

　　①四點共線②四根針等間距③材料長度和寬度遠大于探針間距。

　　測試提示：

　　探針接觸方式

　　探針接觸應保持一定的壓力，但不同材料的性質不同，有些材料的電阻率會隨外加壓力變化而改變，因而測試前要依據具體的測試材料而適當的改變探針壓力。首先用粗調鍵旋轉探針至樣品表面，略有壓力后停止。再細調一定距離，保證測量時表面讀數穩定后即可。

　　總而言之，為了滿足客戶的需求，我決定采用四探針法+源表的方法來進行薄膜材料的電阻率測試。這種方法可以提供準確的測試結果，并且避免了接觸電阻的影響。通過這種方法，我們可以為客戶提供高質量的測試服務。