尺寸

4英寸/6英寸

水平旋轉

可360度旋轉，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程

4英寸*4英寸

X-Y移動精度

10微米

樣品臺Z軸調(diào)節(jié)

可升降10mm

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺

U型針座平臺，最多可放置6個探針座

背電極測試

樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極

外形尺寸

400mm長*400mm寬*500mm高

重量

約25千克

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡

放大倍率

16X-200X

移動行程

水平方向繞立柱360度旋轉，Z軸50.8mm

光源

外置LED無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

X-Y-Z移動行程

12mm*12mm*12mm

移動精度

10um/2um/0.7um/0.5um

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑

0.2um/1um/2um/5um/10um/20um

針尖材質(zhì)

鎢鋼/鈹銅