日置LCR測試儀和功率分析儀在半導體器件測試中的應用

       半導體在我們熟悉的集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明、汽車電子、大功率電源轉換等領域都有應用，而日置HIOKI的測試儀器如功率分析儀、存儲記錄儀、數據采集儀、電池測試儀、LCR測試儀、阻抗測試儀等也在這些領域擔任著重要的測試任務。

　　日置HIOKI在半導體C-V測試上應用

　　那么日本日置產品在半導體元器件(或集成電路)測試中的應用有哪些呢?以晶圓級MOSFET為例，晶圓電容-電壓(C-V)特性曲線測試是半導體參數測試中的比較關注的一部分，CV頻率范圍根據不同的器件有1Hz-100Hz、10Hz-10KHz、10KHz-1MHz或者更高頻段，通過上位機軟件在固定頻段下以0.1V或者0.5V的步進掃描電壓測試C值，電壓范圍有-5V~+5V、-10V~+10V、-20V~+20V、-30V~+30V、-40V~+40V或者更高。(支持第三方軟件控制)

　　通過C-V測量還可以對其他類型半導體器件和工藝進行特征分析，如：BJT晶體管，二極管與PN結，III-V族化合物，二維材料，金屬材料，光子檢測器件，鈣鈦礦與太陽能電池，LED與薄膜晶體管，非易失性存儲器與材料，MEMS與傳感器，分子與納米器件，半導體器件特性分析與建模，器件噪聲特性分析以及檢測工藝參數和失效分析機制等。

　　擴展應用

　　半導參數測試中除了CV電容電壓特性曲線測試，還有IV電流電壓特性曲線測試，可以將LCR測試儀IM3536搭配皮安表SM7110以及其他測試儀器進行系統集成。

　　日本日置在半導體行業的產品介紹

低頻阻抗分析儀IM3590

　　用于測試器件、材料等

　　針對DC以及1mHz~200kHz范圍內的頻率帶寬可設置5位的分辨率(100Hz不到是1mHz分辨率)。能夠進行共振頻率的測量和在接近工作條件的狀態下進行測量、評估。

　　測量頻率1kHz，測量速度FAST時，可達zui快2ms。有助于掃頻高速化。

　　Z的基本精度是±0.05%。從零部件檢查到研究開發的測量，都能達到推薦精度。

LCR測試儀IM3536

　　直流偏置電壓高達±500V

　　測量頻率DC，4Hz~8MHz

　　測量時間：zui快1ms

　　基本精度：±0.05% rdg.

　　mΩ以上的精度保證范圍，也可安心進行低阻測量

　　可內部發生DC偏壓測量

　　從研發到生產線活躍在各種領域中

高頻阻抗分析儀IM7587

　　可穩定測量高達3GHz的阻抗

　　測試電壓測量頻率：1MHz~3GHz

　　測量時間：zui快0.5ms(模擬測量時間)

　　測量值偏差：0.07%(用3GHz測量線圈1nH時)

　　基本精度：±0.65% rdg.

　　緊湊主機僅機架一半大小，測試頭尺寸僅手掌大小

　　豐富的接觸檢查(DCR測量、Hi-Z篩選、波形判定)

　　分析模式下可以邊掃描測量頻率、測量信號電平邊進行測量

       以上就是日置LCR測試儀和功率分析儀在半導體器件測試中的應用，欲了解更多信息，歡迎登錄安泰測試進行咨詢訪問。