吉時利源表高功率半導體器件檢定測試方案

　　一、測試原理

　　開發和使用MOSFET、IGBT、二極管及其他大功率器件，需要全面的器件級檢定，如擊穿電壓、通態電流和電容測量。Keithley高功率參數化曲線跟蹤儀支持所有的器件類型和測試參數。Keithley高功率參數化曲線跟蹤儀包括檢定工程師快速開發全面測試系統所需的一切。ACS-Basic基本版軟件提供了完整的器件特性分析，包括實時跟蹤模式及全部參數模式，實時跟蹤模式用來迅速檢查基礎器件參數，如擊穿電壓；全部參數模式用來提取精確的器件參數。

　　二、測試平臺搭建

　　三、測試說明

　　從實驗室到工廠，從晶圓級到獨立封裝器件!

　　為最優性價比設計的一體化完整解決方案：從測試設置到分析結果!

　　四、方案配置

　　硬件：上至3kV/100A的功率電平，下至uV/fA級別小信號的寬動態范圍;(SMU,4200,PCT,S500多硬件平臺覆蓋)

　　軟件：ACS-Basic支持各種Keithley儀器，用于半導體器件檢定、可靠性測試、參數化測試以及元器件功能測試;

　　夾具：傳統連線測試夾具、8010高功率器件測試夾具、手動/自動探針測試臺

　　特點: 從實驗室科研級別的單臺SMU源表到適用于高功率半導體器件檢定的完整測試方案再到適用于自動晶片級測試系統。Keithley均能為您提供最優性價比的完整解決方案。

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